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テトラカルボン酸二無水物 / Tetracarboxylic Dianhydride
No.140(2008/10発行)
ポリイミドはその熱的，化学的，物理的，電気的特性から電子材料の保護膜や絶縁基材などに用いられてきました。なかでも脂環式ポリイミドは透明度が高く，電気伝導度が低いことから液晶表示素子などに幅広く用いられています。また，光応答性の脂環式ポリイミドはその加工性から薄膜トランジスタや集積回路などに多用されています。
Choiらは1とメタクリル酸誘導体を反応させることで光応答性ポリマー2を得ています1)。このポリマーは400 nmで85％の高い透過率，70％の高い平坦度を持っており，光照射によるパターン形成後，加熱することで脱水反応が進行し，ポリイミドを得ることができます。得られたポリイミドは薄膜トランジスタの材料として充分に利用可能なものであることが報告されています。
文献
- 1)Synthesis and characterization of negative-type photosensitive polyimides based on cyclobutane-1,2,3,4-tetracarboxylic Dianhydride
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