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有機トランジスタ(OFET)素子作製および評価:anti-DMADT

anti-DMADT [D4617]

2,8-Dimethylanthra[2,3-b:6,7-b']dithiophene (purified by sublimation)
anti-DMADT
CAS RN: 1019983-99-3
製品コード: D4617

anti-DMADT [D4617]のOFET素子性能評価

anti-DMADT [D4617] を用いたデバイス作製法・構造



表. anti-DMADT [D4617]を用いたOFET素子特性

Entry Fabrication Method Device Configuration SAM Treatment Tsub (°C) Annealing Temp.a (°C) Polarity μ (cm2 V−1 s−1) Vth (V) Ion/Ioff
Entry1 Fabrication MethodVacuum
deposition
Device ConfigurationTCBG SAM Treatmentw/o
Bare
Tsub (°C)RT Annealing Temp.a (°C)w/o Polarityp μ (cm2 V−1 s−1)0.11 Vth (V)‒14 Ion/Ioff104
Entry2 Fabrication MethodVacuum
deposition
Device ConfigurationTCBG SAM Treatmentw/o
Bare
Tsub (°C)RT Annealing Temp.a (°C)120 Polarityp μ (cm2 V−1 s−1)0.11 Vth (V)‒7.7 Ion/Ioff104
aPost-annealing temperature.

図. 伝達特性(飽和領域)

図.伝達特性(飽和領域)


実験詳細

anti-DMADT [D4617]を用いたOFET素子の作製および評価

<基板>
  • Bare Si/SiO2 (SiO2膜厚:200 nm)

<真空蒸着>
  • anti-DMADT [D4617]の蒸着レート: 0.3 Å/s, (真空度 ∼10−4 Pa)
  • 蒸着時の基板温度: RT
  • Auの蒸着レート: 1.0 Å/s, (真空度 ∼10−4 Pa)

<ポストアニーリング>
  • アニール条件: 120 ºC, 5 min, N2

<素子構造>
  • [n+-Si/SiO2 (200 nm) / anti-DMADT [D4617] (60 nm) / Au (40 nm)]
  • トップコンタクト・ボトムゲート型 (TCBG)
  • チャンネル長: 50 μm
  • チャンネル幅: 1.5 mm

<測定環境>
  • 窒素雰囲気下
  • 電界効果移動度(μ)は伝達特性の飽和領域にて下記式により算出しました
    ID = (W/2L) μ Ci (VGVth)2
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